2026-09-09
风淋室风速多少合格？国标20m/s与25m/s+的差距在哪风淋室风速是决定除尘效果的第一要素。按国家标准，风淋室喷嘴风速应不低于20m/s；而KLC风淋室以25m/s+的高风速设计，把"合格线"与"有效性"之间的...
了解详情2026-07-01
高硬度外墙洁净棚方案：百级垂直层流区FFU覆盖率计算与安装精度控制
洁净棚（Clean Booth）作为一种高灵活度、模块化的局部环境控制装置，能够快速、低成本地在普通低级别洁净室内构建出局部百级（ISO 5）甚至十级（ISO 4）的垂直层流区域。然而，在实际工程建设中，很多净化设备因计算简陋、刚度不足或密封失效...
2026-06-30
EFU在12寸光刻机CVD微环境中高精度风速与化学粒子控制方案
在12寸（300 mm）晶圆制造的先进制程（如28 nm、14 nm及以下级别）中，工艺设备内部的局部微环境（Mini-environment）控制水平直接决定了最终的产品良率。光刻机（Scanner）与化学气相沉积（CVD）设备作为核...
2026-06-29
半导体晶圆厂ISO Class 1-5超级洁净区：液槽式超高效过滤器（ULPA）安装密封实务
在半导体前道晶圆制造厂房中，光刻、刻蚀及薄膜沉积等核心工艺区域对环境尘埃粒径与数量有着极度苛刻的限定。根据ISO 14644-1国际标准，ISO Class 1至Class 5级（百级至一级）的超级洁净区，必须对粒径 ≥ 0.1 μm 的超...
2026-06-26
展会预告 | 7月1-3号 · 上海，KLC邀您莅临慕尼黑上海电子展
KLC邀您莅临慕尼黑上海电子展...
2026-06-26
大通道自动卷帘门货淋室结构设计：解决大型物流通道风淋除尘的密封难题
在现代智能制造厂房（如锂电池极片涂布车间、半导体高阶封装厂及无菌制药车间）中，物料的高频、大批量周...
2026-06-25
大型电子厂FFU群控系统部署：从降低运行噪音到年节电30%的实测方案
在半导体晶圆制造、新型显示面板（OLED/TFT-LCD）等高精尖电子厂房中，洁净室的天花板通常需要满布风机过滤单元（Fan Filter Unit，简称FFU）。对于一个万级、千级乃至百级（ISO Class 5）的超大面积洁净车间，FFU的部署量往往数...
