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2026-07-13

光伏组件(太阳能电池板)PECVD/PVD制程设备中大风量组合式过滤器(V-Bank)降阻降耗实践

在光伏电池(如TOPCon、HJT异质结)的高端制造工序中,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和物理气相沉积(PVD)是制备超薄钝化膜及导电膜的核心工艺。该制程对工艺腔体周边的循环空气质量有着近乎苛...

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