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南昌中微半导体设备

KLC为南昌中微半导体提供4V组合式过滤器与无隔板过滤器组合方案，保障ISO Class 5级洁净室环境，支撑国产高端装备自主可控。

  • 案例行业

    半导体设备

  • 所属国家

    中国大陆

业务背景

南昌中微半导体设备有限公司成立于2017年，位于中国江西南昌，是国内领先的刻蚀设备、MOCVD 设备制造商。精密零部件装配、光学模块调试对空气洁净度、颗粒控制要求极高，直接影响设备精度与良率。

业务挑战

半导体设备制造中，精密零部件装配、光学模块调试等关键环节对空气洁净度要求极高。空气中的颗粒物污染可能导致刻蚀腔体内部划伤、光学镜片污染、装配精度下降等问题，直接影响设备性能与良率。南昌中微的洁净室需达到ISO Class 5级标准，同时要求过滤器具备高效率、低阻力、长寿命特性。

解决方案

核心产品包括KLC 4V 组合式过滤器（V 型结构、大风量、低阻、高容尘）、KLC 无隔板过滤器（超细玻纤滤材、过滤效率 99.99%、耐酸碱、低气散）。系统投用后，洁净室稳定达标，提升装配良率、降低运维成本，支撑国产半导体装备自主可控与高质量发展。

  • 案例行业

    半导体设备

  • 所属国家

    中国大陆

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