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RENA Technologies GmbH

满足半导体湿法加工设备生产对ISO 5级洁净环境的严格要求,KLC为RENA提供定制化FFU风机过滤单元方案,集成超高效过滤技术、进口EBM风机与群控系统,提升洁净度与能效。

  • 案例行业

    光电半导体制造

  • 所属国家

    德国

业务背景

RENA Technologies GmbH成立于1993年,总部位于德国巴登-符腾堡州居滕巴赫,是全球领先的湿法处理设备制造商。公司专注于半导体、医疗技术、可再生能源及玻璃领域的湿化学表面处理解决方案。RENA设备应用于晶圆蚀刻、清洗和剥离等工艺,服务全球半导体制造工厂,全球装机量超3,300台,员工约1,200人。公司在德国、马来西亚、菲律宾、新加坡设有运营机构。

业务挑战

RENA的湿法加工设备需在ISO 5级洁净室标准下运行,以确保晶圆表面清洁度和芯片良品率。原有的空气洁净设备在过滤效率和能效方面存在不足,无法完全满足生产需求。随着生产规模扩大,RENA需要更高效率、更可靠的过滤系统来确保生产环境洁净度,同时降低长期运行成本。

解决方案

KLC 为 RENA 提供定制化FFU 洁净解决方案,采用独家超高效过滤技术,搭配进口 EBM 节能风机,配备 FFU 群控系统,实现 ISO 5 级洁净、节能 10%–20%、集中智能管控与按需定制,全面匹配高端半导体生产需求。

  • 案例行业

    光电半导体制造

  • 所属国家

    德国

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