无隔板高效过滤器
ePTFE无隔板过滤器
液槽式过滤器
刀架式无隔板过滤器
无隔板过滤器
有隔板过滤器
大风量有隔板过滤器
高折高无隔板过滤器
耐高温有隔板过滤器(350℃)
耐高温有隔板过滤器(250℃)
耐高温无隔板过滤器
耐高温折叠式过滤器
抛弃式一体化过滤器
带DOP检测口抛弃式过滤器
可更换式一体化过滤器
可更换DOP液槽式一体化过滤器
折框组合式过滤器
塑胶框组合式过滤器
燃气轮机组合式过滤器
活性炭组合式过滤器
化纤袋式过滤器
高周波袋式过滤器
活性炭袋式过滤器
折叠式过滤器
活性炭折叠式过滤器
圆筒过滤器
玻纤袋式过滤器
箱式(鸟笼式)过滤器
中效折叠式过滤器
静电过滤器
纸框折叠式过滤器
金属网过滤器
平板式过滤器
单向垂直流风淋室
四面环绕高效风淋室
自动卷帘门货淋室
标准传递窗
层流传递窗
KLC风机过滤单元
DC FFU
KLC EFU
DOP层流罩
高效送风口
垂直流洁净工作台
水平流洁净工作台
移动采样车
称量负压室
新风机
层流送风天花板
自净器
洁净干手器
无尘衣柜
为满足LED芯片制造对生产环境纯净度的极高要求,KLC为晶能光电提供高标准的洁净室解决方案,确保半导体器件在无尘环境下精细制造,保障产品性能与良率。
案例行业
光电半导体制造
所属国家
中国大陆
晶能光电是全球硅衬底GaN(氮化镓)LED技术的主导者,手机闪光灯出货量占全球市场的40%,车用LED光源已进入国内主流汽车厂商。公司产品应用于移动智能终端、汽车、工业固化、安防监控等领域。晶能光电拥有超350项专利,曾获2015年度国家技术发明奖一等奖。
LED芯片制造涉及350多道工序,氮化镓发光薄膜厚度仅几微米,由数十层不同结构构成。空气中尘埃颗粒一旦沾染硅衬底或生成材料,会造成材料浪费和产额损失。研究显示,未能有效去除晶圆表面污染可能导致50%以上的产额损失。因此,生产车间需达到千级或百级洁净度,局部需达到十级(即一立方英尺空间内0.5-1微米粒子不超过10个),同时还需满足除静电要求。
KLC为晶能光电提供全面的洁净室解决方案,采用KLC高效空气净化技术,达到ISO 5级洁净标准。方案覆盖粗、中、高效全系列过滤器,以及KLC风机过滤单元(FFU/EFU)、高效送风口、风淋室、传递窗等净化设备。KLC同时引入环境监测系统,实时监控洁净室内环境参数,保障生产环境的稳定性和一致性。通过KLC建造的洁净室,晶能光电生产效率提高25%,产品不良率降低30%。