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晶能光电

为满足LED芯片制造对生产环境纯净度的极高要求，KLC为晶能光电提供高标准的洁净室解决方案，确保半导体器件在无尘环境下精细制造，保障产品性能与良率。

  • 案例行业

    光电半导体制造

  • 所属国家

    中国大陆

业务背景

晶能光电是全球硅衬底GaN（氮化镓）LED技术的主导者，手机闪光灯出货量占全球市场的40%，车用LED光源已进入国内主流汽车厂商。公司产品应用于移动智能终端、汽车、工业固化、安防监控等领域。晶能光电拥有超350项专利，曾获2015年度国家技术发明奖一等奖。

业务挑战

LED芯片制造涉及350多道工序，氮化镓发光薄膜厚度仅几微米，由数十层不同结构构成。空气中尘埃颗粒一旦沾染硅衬底或生成材料，会造成材料浪费和产额损失。研究显示，未能有效去除晶圆表面污染可能导致50%以上的产额损失。因此，生产车间需达到千级或百级洁净度，局部需达到十级（即一立方英尺空间内0.5-1微米粒子不超过10个），同时还需满足除静电要求。

解决方案

KLC为晶能光电提供全面的洁净室解决方案，采用KLC高效空气净化技术，达到ISO 5级洁净标准。方案覆盖粗、中、高效全系列过滤器，以及KLC风机过滤单元（FFU/EFU）、高效送风口、风淋室、传递窗等净化设备。KLC同时引入环境监测系统，实时监控洁净室内环境参数，保障生产环境的稳定性和一致性。通过KLC建造的洁净室，晶能光电生产效率提高25%，产品不良率降低30%。

  • 案例行业

    光电半导体制造

  • 所属国家

    中国大陆

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