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晶能光电(江西)有限公司

为满足LED芯片制造对生产环境纯净度的极高要求,KLC为晶能光电提供高标准的洁净室解决方案,确保半导体器件在无尘环境下精细制造,保障产品性能与良率。

  • 案例行业

    光电半导体制造

  • 所属国家

    中国大陆

业务背景

晶能光电是全球硅衬底GaN(氮化镓)LED技术的主导者,手机闪光灯出货量占全球市场的40%,车用LED光源已进入国内主流汽车厂商。公司产品应用于移动智能终端、汽车、工业固化、安防监控等领域。晶能光电拥有超350项专利,曾获2015年度国家技术发明奖一等奖

业务挑战

LED芯片制造涉及350多道工序,氮化镓发光薄膜厚度仅几微米,由数十层不同结构构成。空气中尘埃颗粒一旦沾染硅衬底或生成材料,会造成材料浪费和产额损失。研究显示,未能有效去除晶圆表面污染可能导致50%以上的产额损失。因此,生产车间需达到千级或百级洁净度,局部需达到十级(即一立方英尺空间内0.5-1微米粒子不超过10个),同时还需满足除静电要求

解决方案

KLC为晶能光电提供全面的洁净室解决方案,采用KLC高效空气净化技术,达到ISO 5级洁净标准。方案覆盖粗、中、高效全系列过滤器,以及KLC风机过滤单元(FFU/EFU)、高效送风口、风淋室、传递窗等净化设备。KLC同时引入环境监测系统,实时监控洁净室内环境参数,保障生产环境的稳定性和一致性。通过KLC建造的洁净室,晶能光电生产效率提高25%,产品不良率降低30%。

  • 案例行业

    光电半导体制造

  • 所属国家

    中国大陆

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